Keithley S530 Parametrik Test Sistemi

S530 Parametrik Test Sistemleri, endüstri lideri test planı esnekliği, otomasyon, istasyon entegrasyonu ve test veri yönetimi yetenekleri sunarak, geniş bir yelpazede cihaz ve teknolojilere sahip olması gereken üretim ve laboratuvar ortamları için tasarlanmıştır.

Sinyal Yolları
	Temel Özellikler	Maksimum Gerilim	Maksimum Akım
Sinyal Tipi	Temel Özellikler	Maksimum Gerilim	Maksimum Akım	Açıklama
Düşük Akım I-V 1	Ultra Düşük Sızıntı	200 V	1 A	Maksimum 200 V ile sınırlıdır. En iyi düşük seviye sinyal performansı ve mükemmel C-V performansı sağlar.
Yüksek Gerilim I-V 2	1100 V	1100 V	1 A	Düşük seviye ölçümlerini destekler, ancak Düşük Akım yolu kadar düşük değildir.
Genel Amaçlı I-V 2		200 V	1 A	Çok düşük akım ve / veya yüksek voltaj testleri haricinde parametrik testlerin çoğuna uygundur.
C-V 2		200 V	1 A	Mükemmel C-V performansı, ancak DC I-V ölçümleri için uygun değildir.
1. Sadece düşük akım sisteminde kullanılabilir.
2. Sadece yüksek voltaj sisteminde kullanılabilir.
Yoğunlaşmış Özellikler
Düşük Akım Sistemi
		Ölçüm		Kaynak
Akım Aralığı	Maksimum Gerilim	Çözünürlüğü	Doğruluk	Çözünürlüğü	Doğruluk
1 A	20 V	1 µA	%0.03 + 1.5 mA + 1.3 pA/V	20 µA	%0.05 + 1.8 mA + 1.3 pA/V
100 mA	200 V	0.1 µA	%0.02 + 20.0 µA + 1.3 pA/V	2 µA	%0.03 + 30.0 µA + 1.3 pA/V
10 mA	200 V	10 nA	%0.02 + 2.5 µA + 1.3 pA/V	200 nA	%0.03 + 6.0 µA + 1.3 pA/V
1 mA	200 V	1 nA	%0.02 + 200.0 nA + 1.3 pA/V	20 nA	%0.03 + 300.0 nA + 1.3 pA/V
100 µA	200 V	0.1 nA	%0.02 + 25.0 nA + 1.3 pA/V	2 nA	%0.03 + 60.0 nA + 1.3 pA/V
10 µA	200 V	10 pA	%0.03+ 1.5 nA + 1.3 pA/V	200 pA	%0.03 + 5.0 nA + 1.3 pA/V
1 µA	200 V	1 pA	%0.03 + 500.6 pA + 1.3 pA/V	20 pA	%0.03 + 800.6 pA + 1.3 pA/V
100 nA	200 V	0.1 pA	%0.06 + 100.6 pA + 1.3 pA/V	2 pA	%0.06 + 100.6 pA + 1.3 pA/V
10 nA	200 V	10 f A	%0.15 + 3.6 pA + 1.3 pA/V	200 fA	%0.15 + 5.6 pA + 1.3 pA/V
1 nA	200 V	1 f A	%0.15 + 880.0 fA + 1.3 pA/V	20 fA	%0.15 + 2.6 pA + 1.3 pA/V
100 pA	200 V	0.1 f A	%0.15 + 760.0 fA + 1.3 pA/V
		Ölçüm		Kaynak
Gerilim Aralığı	Maksimum Akım	Çözünürlüğü	Doğruluk	Çözünürlüğü	Doğruluk
200 V	100 mA	1 mV	%0.02 + 50 mV	5 mV	%0.02 + 50 mV
20 V	1 A	100 µV	%0.02 + 5 mV	500 µV	%0.02 + 5 mV
2 V	1 A	10 µV	%0.02 + 480 µV	50 µV	%0.02 + 730 µV
200 mV	1 A	1 µV	%0.02 + 355 µV	5 µV	%0.02 + 505 µV
Kapasitans	10 kHz	100 kHz	1 MHz
10 pF	%0.50	%0.50	%1.00
100 pF	%0.50	%0.50	%1.00
1 nF	%0.50	%0.50	%4.00
10 nF	%0.50	%0.50	%5.00
100 nF	%1.00	%1.00	%5.00
Maksimum Sinyal Seviyesi	100 mV
DC Voltaj Aralığı	±30 V
Yüksek Gerilim Sistemi
		Ölçüm		Kaynak
Akım Aralığı	Maksimum Gerilim	Çözünürlüğü	Doğruluk	Çözünürlüğü	Doğruluk
1 A	20 V	1 µA	%0.03 +1.5 mA + 0.94 pA/V	20 µA	%0.05 +1.8 mA + 0.94 pA/V
100 mA	200 V	0.1 µA	%0.02 + 20.0 µA + 0.94 pA/V	2 µA	%0.03 + 30.0 µA + 0.94 pA/V
20 mA	1100 V	100 nA	%0.04 +1.2 µA + 0.94 pA/V	500 nA	%0.05 + 4.0 µA + 0.94 pA/V
10 mA	200 V	10 nA	%0.02 + 2.5 µA + 0.94 pA/V	200 nA	%0.03 + 6.0 µA + 0.94 pA/V
1 mA	1100 V	10 nA	%0.03 + 200.0 nA + 0.94 pA/V	50 nA	%0.03 + 300.0 nA + 0.94 pA/V
100 µA	1100 V	1 nA	%0.03 + 25.0 nA + 0.94 pA/V	5 nA	%0.03 + 60.0 nA + 0.94 pA/V
10 µA	1100 V	100 pA	%0.03 +1.5 nA + 0.94 pA/V	500 pA	%0.03 + 5.0 nA + 0.94 pA/V
1 µA	1100 V	10 pA	%0.03 + 504.1 pA + 0.94 pA/V	50 pA	%0.04 + 804.1 nA + 0.94 pA/V
100 nA	200 V	0.1 pA	%0.06 +104.1 pA + 0.94 pA/V	2 pA	%0.06 +104.1 pA + 0.94 pA/V
10 nA	200 V	10 fA	%0.15 + 7.1 pA + 0.94 pA/V	200 f A	%0.15 + 9.1 pA + 0.94 pA/V
1 nA	200 V	1 fA	%0.15 + 4.4 pA + 0.94 pA/V	20 f A	%0.15 + 6.1 pA + 0.94 pA/V
100 pA	200 V	0.1 fA	%0.15 + 4.3 pA + 0.94 pA/V
		Ölçüm		Kaynak
Gerilim Aralığı	Maksimum Akım	Çözünürlüğü	Doğruluk	Çözünürlüğü	Doğruluk
1000 V2	20 mA	10 mV	%0.015 + 50.2 mV	50 mV	%0.02 +100.2 mV
200 V	100 mA	1 mV	%0.015 + 50.0 mV	5 mV	%0.02 + 50.1 mV
20 V	1 A	100 µV	%0.015 + 5.0 mV	500 µV	%0.02 + 5.1 mV
2 V	1 A	10 µV	%0.02 + 374.0 µV	50 µV	%0.02 + 680.0 mV
200 mV	1 A	1 µV	%0.015 + 324.0 µV	5 µV	%0.02 + 680.0 mV
Kapasitans	10 kHz	100 kHz	1 MHz
10 pF	%0.50	%0.50	%3.00
100 pF	%0.50	%0.50	%2.00
1 nF	%0.50	%0.50	%7.00
10 nF	%0.50	%0.50	%5.00
100 nF	%1.00	%1.00	%5.00
Maksimum Sinyal Seviyesi	100 mV
DC Gerilim Aralığı	±30 V
Darbe Jeneratör Ünitesi Seçeneği
PGU başına Kanal Sayısı	2
Maksimum Gerilim	±40 V
Tipik Darbe Genişliği Aralığı	100 ns - 1s
Tipik Darbeli Geçişler	50 ns - 200 ms
Frekans Analizi Seçeneği
Tipik Frekans Ölçüm Aralığı	10 kHz - 20 MHz
Tipik Genlik Ölçüm Aralığı	10 mVRMS - 1 VRMS
Düşük voltajlı DMM Seçeneği
	7.5 digit çözünürlüğü
En Düşük Aralıklar	10 nV çözünürlükte 100 mV. 100 nV çözünürlükte 1 V.

Yarı iletken endüstrisi için en uygun maliyetli otomatik parametrik test cihazları
Yüksek esneklik ve sistem hızının kritik olduğu geniş bir ürün karışımına sahip ortamlarda kullanım için optimize edilmiştir.
Düşük akım veya yüksek voltaj (1100 V) sistem konfigürasyonları seçimi.
Düşük akım 60 pin konfigürasyonu, alt eşik kaçağı, kapı sızıntısı, vb. gibi düşük akım özelliklerinin ölçümünü destekler.
Yeni yüksek voltaj 60 pin konfigürasyonu, GaN, SiC ve Si LDMOS güç cihazlarında kullanılan izleme süreçleri için optimize edilmiştir.
Popüler tam otomatik prob istasyonları ile uyumlu.
Kaynak darbelerinin, frekans ölçümlerinin ve düşük voltaj ölçümlerinin enstrüman seçenekleri.
Kablolu test cihazı konfigürasyonu, prob ara yüzü esnekliğini maksimuma çıkarır ve voltaj aralığını genişletir.
Keithley’nin 9139A Probe Kartı Adaptörü ile uyumlu
Mevcut beş inçlik prob kart kitaplıklarının yeniden kullanılmasını destekler.
Kanıtlanmış enstrümantasyon teknolojisi hem laboratuvarda hem de fab'da yüksek ölçüm doğruluğu ve tekrarlanabilirlik sağlar.

Dolap Boyutu	60.0 cm (G) × 91.5 cm (D) × 190.5 cm (Y)
Nominal Hat Gücü	100 V, 115 V, 220 V, 240 V
Güç tüketimi	2 kW güç dağıtım ünitesi için 2,4 kVA.
Önerilen Çalışma Koşulları
Sıcaklık	23° ±5°C
Nem	İki saat ısınma süresinden sonra% 30 ile % 60 bağıl nem, yoğunlaşma olmaz

Model
S530	Düşük Akım Çok Bölgeli Paralel Test 1100 V 3000 V Kullanıcı Destekli SECS / GEM Otomasyon
S530-HV
S535
S540
S500

Doküman İsmi	Tarih	İndirme	Boyut	İndir
Keithley S530 Parametrik Test Sistemleri Teknik Özellikler	28/08/2018 16:17:41	1024	370,38 KB	İndir

S530; S 530; S-530; S/530

MENÜ

Keithley S530 Parametrik Test Sistemi

E-Bülten /

SÖZLEŞMELER

MENÜ

Keithley S530 Parametrik Test Sistemi

ÜYE GİRİŞİ