S540 Parametrik Test Sistemi yarı iletken güç cihazların ve 3kV'a kadar yapıların levha seviyesi testi için tam otomatik, 48 pinli bir parametrik test sistemidir. Silisyum karbür (SiC) ve galyum nitrür (GaN) dahil olmak üzere en son bileşik güç yarı iletken malzemeler ile kullanım için optimize edilmiş, tam entegre S540 tek bir prob dokunuşunda tüm yüksek voltaj, düşük voltaj ve kapasite testleri yapabilir.
| DC Akım - Gerilim Ölçümleri |
| Ölçüm Tipi |
SMU cihazı |
Güç |
Aralık |
|
| Yüksek Gerilim |
Keithley 2657A |
180 W |
1 fA - 120 mA; 100 µV - 3000 V |
|
| Düşük Gerilim |
Keithley 2636B |
20 W |
1 fA - 1.5 A; 1 µV - 200 V |
|
| Kapasitans Ölçümleri |
| Ölçüm Tipi |
Kapasitans Ölçer |
|
|
|
| DC Bias Gerilimi |
Frekans |
Aralık |
| Yüksek Gerilim |
Keithley 4210-CVU |
3000 V 1 |
10 kHz, 100 kHz, 1 MHz |
100 nF – 10 pF |
| Düşük Gerilim |
Keithley 4210-CVU |
30 V |
10 kHz, 100 kHz, 1 MHz |
100 nF – 10 pF |
Diferansiyel ve Düşük Gerilim Ölçümleri |
| Cihaz |
Aralık |
|
|
|
| Keithley 7510 DMM |
10nV - 200V |
|
|
|
| Darbe Ölçümleri |
| Cihaz |
Genişlik |
Darbe Genişliği |
Darbeli Geçişler |
|
| Keithley 4220-PGU |
100 mV - 40 V |
100 nS - 1 S |
50 nS - 200 µS |
|
| Frekans Ölçümleri |
| Cihaz |
Aralık |
Genişlik |
|
|
| FMTR |
10 kHz - 20 MHz |
10 mV - 1 V rms |
|
|
Anahtarlama Matrisi - 48 adete kadar ölçüm pimi |
| Pin Tipi |
Maksimum Gerilim |
Maksimum Pin Sayısı |
Cihaz Bağlantıları |
|
| Yüksek Gerilim |
3000 V |
12 |
LV anahtar matrisinden 2 HV SMU'ya kadar, 1 HVCMTR ve 6 pin pass-thru |
|
| Düşük Gerilim |
200 V |
36 |
8 LV SMU kanalına kadar, 1 LVCMTR, DMM, Darbe, Frekans (tüm düşük voltaj pimleri aşırı voltaj koruması içerir). |
|
| Sistem Özellikleri - Keithley veya Celadon PCA'nın sonuna kadar geçerlidir. |
Çalışma sıcaklığı |
23 ±5°C |
|
|
|
| Nem |
%5–%60 |
|
|
|
| Isınma |
1 saat |
|
|
|
Entegrasyon süresi |
1 PLC |
|
|
|
| Kalibrasyon döngüsü |
1 Yıl |
|
|
|
HVCMTR Özellikleri |
|
| İki terminal HVCV ölçümü |
| Kapasitans |
10 kHz |
100 kHz |
1 MHz |
|
| 10 pF |
%10 |
%2 |
%1 |
|
| 100 pF |
%2 |
%2 |
%2 |
|
| 1 nF |
%0.5 |
%0.5 |
%4 |
|
| 10 nF |
%0.5 |
%0.5 |
%7 |
|
Üç terminal HVCV ölçümleri |
| 100 kHz |
|
|
|
|
| HVCV Ölçüm Doğruluğu |
|
| Kondansatör Oranı Ciss : Coss : Crss |
|
|
|
|
| Ciss |
Coss |
Crss (1) |
|
| 1nF : 100pF : 10pF |
%1 |
%5 |
%2 |
|
| 1nF : 1nF : 1nF |
%1 |
%1 |
%2 |
|
| 1nF : 1nF : 100pF |
%1 |
%1 |
%4 |
|
| 1 MHz |
|
|
|
|
| HVCV Measurement Accuracy |
|
| Kondansatör Oranı Ciss : Coss : Crss" |
|
|
|
|
| Ciss |
Coss |
Crss (1) |
|
| 1nF : 100pF : 10pF |
%8 |
5% |
Dipnota bakınız. |
|
| 1nF : 1nF : 1nF |
%18 |
18% |
Dipnota bakınız. |
|
| 1nF : 1nF : 100pF |
%9 |
9% |
Dipnota bakınız. |
|
| Not: Crss'in ölçülmesi, kaynağın korunmasını gerektirir. Bir üretim sistemi ile, korumanın etkinliği 100 kHz'nin üzerinde sınırlıdır. Ciss ve Coss ölçümleri koruma gerektirmez |
|
- Yüksek voltaj arızası da dahil olmak üzere 48 pine kadar tüm levha seviyesi parametrik testleri, düşük voltaj ölçümleri kabloları değiştirmeden tek bir prob dokunuşunda ya da prob kartı altyapısı ile otomatik olarak gerçekleştirin.
- Test pinlerini manuel olarak yeniden yapılandırmadan Cıss, Coss ve crss gibi transistör kapasitans ölçümlerini 3 kv'ye kadar gerçekleştirin.
- Yüksek hızlı, çoklu-pin ve tam otomatik test çevresinde düşük seviye ölçüm performansı elde edin.
- Linux tabanlı KTE (Keithley Test Ortamı) sistemi Kolay test geliştirme ve hızlı uygulama için yazılım.
- Tam veya yarı otomatik uygulamalar için ideal Süreç Entegrasyonu, Süreç Kontrolü İzleme, ve Üretim Kalıp Sıralaması.
- Başarıya ulaşırken test süresini, test kurulum süresini ve kat alanını en aza indirerek sahip olma maliyetini düşürürken laboratuvar dereceli ölçüm performansı sunar.
| Dolap boyutu |
60,0 cm (G) × 91,5 cm (D) × 190,5 cm (Y) |
| Hat Gücü |
100 V, 115 V, 220 V, 240 V |
| Yazılım |
KTE 5.7. Plak çözme, test makro geliştirme, test planı geliştirme, limit ayarı, test verileri yönetimi, kullanıcı erişim noktaları ve sistem tanılama içerir. |
| Prob Kartları |
Keithley, Celadon, Kullanıcı Destekli |
| EMC |
Avrupa Birliği EMC Direktifi ile uyumludur. |
| Güvenlik |
Avrupa Birliği Alçak Gerilim Direktifi ile uyumludur. |
| Sertifikalar |
SEMI S2, S8, ve S14 |
| Destek Hizmetleri |
Prob istasyonu entegrasyonu, kalibrasyon, onarım, test planı göçü için mevcut sözleşmeler ve
korelasyon çalışmaları. |
| Model |
|
|
| S530 |
Düşük Akım
Çok Bölmeli Paralel Test
1100 V
3000 V
Kullanıcı Destekli
SECS / GEM Otomasyon
|
| S530-HV |
| S535 |
| S540 |
| S500 |
