Langer FLS 106 IC Set - IC Scanner 4-Axis Positioning System 

The FLS 106 IC Scanner 3 eksenli bir tarayıcı system system olup ICR yakın alan probları ile entegrelerin maksimum 6GHz’e kadar manyetik ya da eletkrik alan gücünü 50-100 µm çözünürlük ile ölçebilir. Yaygın birçok spektrum analizör ile uyumlu ChipScan bilgisayar yazılımı tarayıcıyı otomatik olarak kontrol eder ve spektrum analizörden ölçümleri alarak ölçümün haritasını 2 ya da 3 boyutlu olarak çıkarabilir. Mikroskop kamera ile probun bulunduğu mevcut konum yine ChipScan yazılımından izlenebilir. Probe açısı otomatik olarak ayarlanarak manyetik alanın yönü belirlenebilir.

ICS 106 Set basit bir kaç adımla ESD ve EFT bağışıklık testleri yapacak şekilde de konfigüre edilebilir.